Газовый сенсор с низким энергопотреблением на наноструктурированной диэлектрической мембране

Горох, Г. Г.; Захлебаева, А. И.; Ткач, А. Н.; Таратын, И. А.; Хатько, В. В.

Газовый сенсор с низким энергопотреблением на наноструктурированной диэлектрической мембране

Горох, Г. Г., Захлебаева, А. И., Ткач, А. Н., Таратын, И. А., Хатько, В. В.

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:28:35Z

Аннотация:

Исследован газовый сенсор с низким энергопотреблением на двухслойной диэлектрической мембране с тонким слоем анодного оксида алюминия. Представлена технология изготовления газового сенсора на наноструктурированной мембране SixNy/Al2O3. Исследованы отклики сенсора к 1 ppm CO при различных температурах нагрева чувствительного слоя. Определен оптимальный режим работы сенсора.Low power gas sensor on the two-layer dielectric membrane with a thin layer of anodic aluminum oxide was developed. The technique of forming of nanostructured membrane SixNy/Al2O3. was represented. The sensor response to the 1 ppm CO at different temperatures heat of sensitive layer was investigated. The optimal operating conditions of sensor were defined.