Особенности формирования матрично-пленочных хемочувствительных гетероструктур с использованием технологии сквозного анодирования Al

Богомазова, Н. В.; Пянко, А. В.; Мурашкевич, А. Н.; Горох, Г. Г.

Особенности формирования матрично-пленочных хемочувствительных гетероструктур с использованием технологии сквозного анодирования Al

Богомазова, Н. В., Пянко, А. В., Мурашкевич, А. Н., Горох, Г. Г.

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:28:35Z

Аннотация:

Разработаны методики формирования многослойных функциональных металлооксидных структур на диэлектрических матрицах анодного оксида алюминия. Методами химического и электрохимического осаждения сформированы функциональные слои на основе системы SnxZnyOz. Методом электрофоретического осаждения из пленкообразующих растворов сформированы пленки TiO2 островкового типа с блочной структурой. Наиболее равномерное заполнение анодного оксида достигнуто при формировании функциональных пленок SnxMoyOz и SnxWyOz методом ионного наслаивания.

Ключевые слова:
публикации ученых, анодный оксид алюминия, электрохимическое анодирование, химическое осаждение, электрохимическое осаждение, электрофоретическое осаждение, ионное наслаивание, металлооксидные пленки

Тип: Article

Особенности формирования матрично-пленочных хемочувствительных гетероструктур с использованием технологии сквозного анодирования Al

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация