Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:28:39Z

Аннотация:

Проведены исследования разрядных и эмиссионных характеристик ионного источника для “мягкой” ионной очистки. Установлено, что данный источник обеспечивает низкоэнергетичную ионную бомбардировку с энергией ионов от 30 до 270 эВ при плотности ионного тока до 1,6 мА/см2. Researches of digit and issue characteristics of an ion source for "soft" ion cleaning are conducted. It is established that this source provides low energy ion bombing with energy of ions from 30 to 270 эВ at firmness of ion current to 1,6 ¼Ç/cm2.

Тип: Article