расширенный поиск
Дата публикации: 2017
Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:30:47Z
Высокочастотный емкостный разряд (ВЧЕ-разряд) формируется в системе из двух плоскопараллельных электродов, на которые подается напряжение. Данный тип разряда нашел широкое применение в современном производстве электронной техники.
Тип: Статья