Разработать конструкции, изготовить и исследовать микроэлектромеханические резонаторы и оптические волноводы на основе КНИ-структур для интегральных микроэлектронных устройств : отчет о НИР (заключ.)
Бондаренко, В. П.,
Редько, С. В.,
Долгий, Л. Н.,
Долгий, А. Л.,
Абрамов, К. И.,
Долгий, А. Л.
Связанные документы (рекомендация CORE)