Технологическое  проектирование интегральных схем.  Программа  SSuprem  4:  учеб.  пособие  для  курсов  лекций  и  лаб.  работ  по  дисц.  “Расчет  и  проектирование  элементов  интегральных  схем  и  полупроводниковых  приборов”,  “Основы  САПР  в  микроэлектронике”,  “Моделирование  технологических  процессов  микроэлектроники”  для  студ. спец. 41 01 02 “Микро- и наноэлектронные технологии и системы”,  41 01 03 “Квантовые информационные системы” всех форм обучения

Нелаев, В. В.; Стемпицкий, В. Р.

Технологическое проектирование интегральных схем. Программа SSuprem 4: учеб. пособие для курсов лекций и лаб. работ по дисц. “Расчет и проектирование элементов интегральных схем и полупроводниковых приборов”, “Основы САПР в микроэлектронике”, “Моделирование технологических процессов микроэлектроники” для студ. спец. 41 01 02 “Микро- и наноэлектронные технологии и системы”, 41 01 03 “Квантовые информационные системы” всех форм обучения

Дата публикации: 2004

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:31:58Z

Аннотация:

В пособии приведено описание физических моделей, используемых в программном комплексе ATHENA фирмы Silvaco для компьютерного моделирования, проектирования и оптимизации технологических процессов формирования приборов микроэлектроники, а также технологического маршрута изготовления интегральной схемы в целом.

Ключевые слова:
учебно-методические пособия, компьютерное моделирование, микроэлектроника

Тип: Книга

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация