Оборудование и технологии удаления загрязнений с поверхности кремниевых пластин

Баранов, В. В.; Скопцов, А. М.; Врабий, Э. М.; Шахлевич, Г. М.

Оборудование и технологии удаления загрязнений с поверхности кремниевых пластин

Баранов, В. В., Скопцов, А. М., Врабий, Э. М., Шахлевич, Г. М.

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:35:36Z

Аннотация:

Химическая обработка с помощью реактива Каро и водного раствора перекиси водорода с аммиаком при финишной очистке поверхности полупроводниковых пластин дли-тельная и энергоемкая. Описаны экспериментальный образец обору-дования и технология финишной обработки кремниевых пластин, отличающиеся пониженным расхо-дом дорогостоящих реактивов и повышенной энергоэффективностью за счет использования инфракрас-ного нагрева и термостатирования ванны.

Ключевые слова:
публикации ученых, химическая обработка, кремниевая подложка, технологическое оборудование, инфракрасный нагрев, энерго- и материалосбережение

Тип: Статья