В работе приведены экспериментальные исследования электретных свойств покрытий на основе оксида тантала ТаОx, нанесенных на титановые образцы. Проведено исследование скорости релаксации нескомпенсированного заряда покрытий, полученных различными методами. Установлено, что наилучшими электретными свойствами обладают покрытия, синтезированные способом электрохимического оксидирования. Показано, что электретный заряд с поверхностной плотностью 4,4.10–4 Кл / м2 сохраняется на протяжении не менее 90 дней.