Металлизация отверстий при формировании трехмерных микроструктур

Кушнер, Л. К.; Степанова, Л. И.; Кузьмар, И. И.; Хмыль, А. А.

Металлизация отверстий при формировании трехмерных микроструктур

Кушнер, Л. К., Степанова, Л. И., Кузьмар, И. И., Хмыль, А. А.

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:37:19Z

Аннотация:

Определены оптимальные составы растворов для химической и электрохимической металлизации TSV-отверстий и режимы осаждения в зависимости от размеров отверстий.

Ключевые слова:
публикации ученых, электрохимическая металлизация TSV-отверстий, нестационарный электролиз

Тип: Статья

Металлизация отверстий при формировании трехмерных микроструктур

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация