Спектральная диагностика тлеющего разряда комбинированного типа

Лушакова, М. С.; Тихон, О. И.

Спектральная диагностика тлеющего разряда комбинированного типа

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:37:25Z

Аннотация:

Проведено изучение спектральных характеристик комбинированного (НЧ+СВЧ поля) разряда в процессе плазмо-химического травления пластин монокристаллического кремния.

Ключевые слова:
публикации ученых, комбинированный разряд, тлеющий разряд

Тип: Статья