Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

Влияние способа подачи плазмообразующего газа на характеристики разряда с эффектом полого катода

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:37:26Z

Аннотация:

Особенности разряда с эффектом полого катода создают широкую область применения конструкций, основанных на использовании этого эффекта от микроэлектроники до точного машиностроения.

Тип: Статья


Связанные документы (рекомендация CORE)