Исследование и  оптимизация процесса осаждения пленок поликристаллического кремния, легированного германием как  изовалентной примесью

Борисевич, В. М.; Ковалевский, А. А.; Нелаев, В. В.; Малышев, В. С.; Стемпицкий, В. Р.; Borisevich, V. M.; Kovalevsky, A. A.; Nelayev, V. V.; Malyshev, V. S.; Stempitsky, V. R.

Исследование и оптимизация процесса осаждения пленок поликристаллического кремния, легированного германием как изовалентной примесью

Борисевич, В. М., Ковалевский, А. А., Нелаев, В. В., Малышев, В. С., Стемпицкий, В. Р., Borisevich, V. M., Kovalevsky, A. A., Nelayev, V. V., Malyshev, V. S., Stempitsky, V. R.

Дата публикации: 2004

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:38:35Z

Аннотация:

Проведено экспериментальное исследование кинетики роста пленок поликристаллического кремния, легированных изовалентной примесью — германием. Установлены закономерности влияния основных технологических параметров процесса на скорость роста и удельное электрическое сопротивление пленок. Тонкие пленки поликристаллического кремния, легированные германием и выращенные при температуре 6200 С, при пониженном давлении обладают лучшими структурно-морфологическими свойствами по сравнению с нелегированными пленками. На основании экспериментальных результатов получена аппроксимационная зависимость скорости осаждения, удельного электрического сопротивления от условий разложения моногидридов и состава газовой смеси. Приведены результаты решения задачи оптимизации значимых параметров исследованного процесса.

Ключевые слова:
доклады БГУИР, кинетика, изовалентная примесь, скорость осаждения, удельное электрическое сопротивление, аппроксимация, оптимизация

Тип: Статья

Исследование и оптимизация процесса осаждения пленок поликристаллического кремния, легированного германием как изовалентной примесью

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация