Дата публикации: 2004

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:38:38Z

Аннотация:

Приведены результаты работ по созданию электрохимической технологии микро- и нано- электронных устройств, в основном гибридных интегральных микросхем и многокристаль- ных модулей. Рассмотрены технологии алюминиевых оснований, многоуровневых систем межсоединений и алюминиевых корпусов для ГИС и СБИС. Представлены результаты ра- бот по созданию электрохимической технологии изготовления наноэлектронных устройств, таких, как матричные управляемые автоэмиссионные катоды и транзисторы, работающие на основе квантового эффекта одноэлектронного переноса.

Тип: Статья