Дата публикации: 2007

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:39:51Z

Аннотация:

Проведен анализ особенностей разрядов торцевого холловского ускорителя (ТХУ) и магнетронной распылительной системы (МРС), на основании чего установлены уравнения балансов токов для двухразрядной системы ТХУ-МРС. Теоретически обоснованы и экспериментально подтверждены условия взаимной стимуляции разрядов МРС и ТХУ. Приведен диапазон необходимой величины разрядного тока МРС для поддержания баланса заряженных частиц в безнакальной модификации разряда ТХУ и генерируемом им ионном пучке для реализации процесса ионного ассистирования магнетронному распылению, а также варианта ТХУ и источника электронов на основе разряда в скрещенных EЧH полях в квазизамкнутой области для процессов ионнoго ассистирования при испарении.The discharge features of the End-Hall ion source and magnetron sputtering systems have been investigated, on the bases of which the current balance equations for a dual-discharge system composed of the End-Hall ion source and the magnetron sputtering system were derived. The conditions of mutual stimulation of the End-Hall ion source and magnetron sputtering system discharges were theoretically estimated and experimentally proved. The range of values for the magnetron sputtering system discharge current essential to support the charged particles balance was obtained. The found range of values was employed to implement two processes, namely in the non- filament modification discharge End-Hall ion source for the ion beam assisted magnetron, and also for the End-Hall ion source and the electron source based on the discharge in the crossed EЧH fields.

Тип: Статья