Структурные  и  электрофизические  свойства  бинарных  и  тройных  сплавов  алюминия  для  металлизации  микродисплеев  типа  LED-ON-  SILICON

Черных, А. Г.; Павлюковец, С. А.; Смирнов, А. Г.; Ригольд, С. В.; Chernykh, A. G.; Pavlyukovets, S. A.; Smirnov, A. G.; Rigold, S. V.

Структурные и электрофизические свойства бинарных и тройных сплавов алюминия для металлизации микродисплеев типа LED-ON- SILICON

Черных, А. Г., Павлюковец, С. А., Смирнов, А. Г., Ригольд, С. В., Chernykh, A. G., Pavlyukovets, S. A., Smirnov, A. G., Rigold, S. V.

Дата публикации: 2008

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:40:45Z

Аннотация:

Исследованы и объяснены закономерности, связывающие условия формирования тонких пленок А1+0,8%Но, Al+0,8%Ho+l%Si, Al+l%Si, Al+l,5%Si, Al+l,5%Si+4%Cu (% по массе) при магнетронном распылении со структурой пленок, устойчивостью их при термообработ ках, профилем распределения легирующей примеси, электросопротивлением, качеством пе рекрытия ступенчатого рельефа поверхности. Показано, что пленки тройного сплава Al+0,8%Ho+l%Si при заданных температурных режимах осаждения и отжига обладают наилучшим сочетанием электрических, морфологических свойств и могут быть использо ваны в качестве металлизации микродисплеев типа LED-ON-SILICON.

Ключевые слова:
доклады БГУИР, металлизация ИС, сплавы алюминия, редкоземельные металлы, микродисплейные устройства, структурные и электрофизические свойства

Тип: Статья

Структурные и электрофизические свойства бинарных и тройных сплавов алюминия для металлизации микродисплеев типа LED-ON- SILICON

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация