Аналитическая оценка структурных особенностей тонких металлических пленок, формируемых методом ионно-плазменного напыления

Маргун, Ю. С.; Поваляева, Н. И.; Степанцов, Е. В.; Макаревич, Я. С.; Петрушкевич, В. Р.

Аналитическая оценка структурных особенностей тонких металлических пленок, формируемых методом ионно-плазменного напыления

Маргун, Ю. С., Поваляева, Н. И., Степанцов, Е. В., Макаревич, Я. С., Петрушкевич, В. Р.

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:40:49Z

Аннотация:

Исследована микроструктура поверхности тонких металлических пленок Al и его бинарных сплавов с хромом и железом, сформированных ионно-ассистированным осаждением на стеклянных подложках, методом растровой электронной микроскопии (РЭМ). Проведен анализ полученных РЭМ изображений методом случайных секущих.

Ключевые слова:
материалы конференций, тонкие металлические пленки, ионно-плазменное напыление

Тип: Статья

Аналитическая оценка структурных особенностей тонких металлических пленок, формируемых методом ионно-плазменного напыления

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация