Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:40:51Z

Аннотация:

Устройства на базе микроэлектромеханических систем (МЭМС) широко используются в промышленной электронике, медицине, военной и космической технике. Их функциональные характеристики определяются механическими свойствами материала, на основе которых они сформированы. В настоящее время основным материалом в МЭМС технологии является кремний и его модификации из-за хороших физических и механических свойств. Однако, использование кремния связано с высокотемпературными процессами (500–1200 єС), что снижает его физико-механические свойства и вызывает в нем высокие механические напряжения, кроме того не всегда можно получить требуемую геометрию элемента.

Тип: Статья