Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Технология плазмохимического травления нитрида кремния при создании изоляции LOCOS для полупроводниковых приборов субмикронных проектных норм

Емельянов, В. В.

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:42:34Z

Ключевые слова:
материалы конференций, механизмы плазмохимического травления, плазма, селективность, изоляция LOCOS

Тип: Статья

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core