Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок

Бельский, Д. В.; Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.; Тихон, О. И.; Лушакова, М. С.

Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок

Бельский, Д. В., Мадвейко, С. И., Бордусов, С. В., Тихон, О. И., Лушакова, М. С.

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:43:36Z

Аннотация:

Полученные результаты измерений структуры распределения СВЧ поля в зоне газового разряда в резонаторе прямоугольной формы указывают на существование устойчивой формы неравномерности распределения плотности мощности в объеме разрядной зоны. Это свидетельствует о наличии существенной пространственной неоднородности в параметрах СВЧ разряда применительно к цилиндрическим разрядным камерам туннельного типа.

Ключевые слова:
публикации ученых, СВЧ, фоторезистивные пленки, туннельный реактор

Тип: Статья