Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:43:48Z

Аннотация:

В монографии изложены результаты фундаментальных и прикладных исследований кремний-германиевых наноструктурированных пленок и нанокластеров. Описаны различные методы получения и исследования пленок для создания нанокластеров и использования их при разработке альтернативных высокоэффективных нанотехнологий. Монография предназначена для научных сотрудников, специалистов, студентов I и II ступеней высшего образования, а также аспирантов и докторантов, специализирующихся на выполнения различных исследований, связанных с разработкой нанотехнологий для создания новых изделий электронной техники.

Тип: Книга