Исследуется влияние анизотропии поверхностного натяжения на возможность образования
периодических поверхностных структур (ППС). Результаты сопоставляются
с экспериментальными данными по образованию ППС на кремнии, обработанном плотной
компрессионной плазмой.The influence of surface tension’s anisotropy on the possibility of periodic surface structures
formation is investigated. The results are compared with experimental data of surface structures
formation on silicon, processed with compression plasma flow.