Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:46:13Z

Аннотация:

Методом электрохимического анодирования в электролите на основе фтористоводородной кислоты на кремниевых подложках электронного типа проводимости получены слои пористого кремния. Изучено влияние температуры электролита и плотности тока анодирования на скорость роста и пористость пористого кремния.

Тип: Статья