Алгоритм расчета зоны  плазмообразования в магнетронной распылительной системе

Шекелевский, В. В.; Бездников, М. С.

Алгоритм расчета зоны плазмообразования в магнетронной распылительной системе

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:46:17Z

Аннотация:

В работе представлена методика определения равномерности формируемого покрытия исходя из количественной оценки эффектов и процессов магнетронного распыления и конденсации на подложке. Выполнена верификация результата расчетов с экспериментальными данными.

Ключевые слова:
материалы конференций, расчет зоны плазмообразования, магнетронная распылительная система

Тип: Статья