Поверхность кремниевой пластины обрабатывалась плазмой атмосферного давления. Обработка в плазме
диэлектрического барьерного разряда привела к значительному увеличению адгезии. Адгезия измерялась как коэффициент
трения. Зависимость коэффициента трения кремния от режимов обработки изучалась с помощью атомно-силового
микроскопа.