Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

Изменение адгезионных свойств поверхности кремния после обработки в плазме атмосферного разряда

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:46:19Z

Аннотация:

Поверхность кремниевой пластины обрабатывалась плазмой атмосферного давления. Обработка в плазме диэлектрического барьерного разряда привела к значительному увеличению адгезии. Адгезия измерялась как коэффициент трения. Зависимость коэффициента трения кремния от режимов обработки изучалась с помощью атомно-силового микроскопа.

Тип: Статья


Связанные документы (рекомендация CORE)