Изменение адгезионных свойств  поверхности кремния после обработки в плазме атмосферного  разряда

Запорожченко, Ю. В.; Аксючиц, А. В.

Изменение адгезионных свойств поверхности кремния после обработки в плазме атмосферного разряда

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:46:19Z

Аннотация:

Поверхность кремниевой пластины обрабатывалась плазмой атмосферного давления. Обработка в плазме диэлектрического барьерного разряда привела к значительному увеличению адгезии. Адгезия измерялась как коэффициент трения. Зависимость коэффициента трения кремния от режимов обработки изучалась с помощью атомно-силового микроскопа.

Ключевые слова:
материалы конференций, кремниевые пластины, плазма атмосферного давления

Тип: Статья