Материалов:
1 082 141

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Лазерное формирование отверстий в кремниевых подложках 3D электронных модулей

Ланин, В. Л., Волк, С., Первенецкий, А. П.

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:47:23Z

Аннотация:

Рассматривается технология формирования сквозных отверстий в кремниевых подложках под воздействием лазерного излучения.

Ключевые слова:
публикации ученых, лазер, отверстие, кремниевая подложка, 3D электронный модуль

Тип: Статья

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core