Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:48:01Z

Аннотация:

Проведено исследование влияния состава рабочего газа и температуры подложки при нанесении пленок SiOC реактивным ионно-лучевым распылением составной мишени SiO2/25 %C на электрофизические и спектральные характеристики. Добавка кислорода к аргону позволила увеличить пропускание и снизить поглощение в видимом и ближнем ИК диапазоне. Нагрев подложки также способствовал росту пропускания.

Тип: Статья