Проведено исследование влияния состава рабочего газа и температуры подложки на спектральные и трибологические характеристики пленок нитрида углерода при синтезе прямым осаждением из ионных пучков метана и азота. Нагрев подложки приводил в снижению пропускания и коэффициента трения.
