Моделирование процесса лазерной прошивки отверстий в кремнии при формировании 3D структур

Лаппо, А. И.; Боброва, Т. С.; Кузнецова, О. В.

Моделирование процесса лазерной прошивки отверстий в кремнии при формировании 3D структур

Лаппо, А. И., Боброва, Т. С., Кузнецова, О. В.

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:48:18Z

Аннотация:

Математическое моделирование температурно-временных зависимостей и распределение тепловых полей нагрева кремневой пластины при формирование переходных отверстий лазерным источником.

Ключевые слова:
материалы конференций, математическое моделирование, 3D электронные модули

Тип: Статья

Моделирование процесса лазерной прошивки отверстий в кремнии при формировании 3D структур

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация