Корреляционный анализ контактного и бесконтактного методов неразрушающего контроля

Волкенштейн, С. С.; Антончик, Л. С.; Дайняк, И. В.; Хмыль, А. А.

Корреляционный анализ контактного и бесконтактного методов неразрушающего контроля

Волкенштейн, С. С., Антончик, Л. С., Дайняк, И. В., Хмыль, А. А.

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:48:23Z

Аннотация:

Рассматриваются вопросы контроля качества соединений кристалла с подложкой на основе лазерного интерферометрического метода и последующего корреляционного анализа матриц деформации, полученных до и после монтажа.

Ключевые слова:
публикации ученых, лазерная интерферометрия, неразрушающий контроль, полупроводниковый кристалл, корреляционный анализ

Тип: Статья