Эволюция микроструктуры тонких пленок сплава Al-1.0 ат. % Cr при ионно-ассистированном осаждении на стекло

Ташлыкова-Бушкевич, И. И.; Яковенко, Ю. С.; Мойсейчик, Е. С.; Бейда, А. И.

Эволюция микроструктуры тонких пленок сплава Al-1.0 ат. % Cr при ионно-ассистированном осаждении на стекло

Ташлыкова-Бушкевич, И. И., Яковенко, Ю. С., Мойсейчик, Е. С., Бейда, А. И.

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:48:26Z

Аннотация:

Для управления свойствами тонкопленочных металлических покрытий при их осаждении на подложку необходима диагностика микроструктуры поверхности системы покрытие/подложка. В данной работе на примере тонких пленок сплава Al-1.0 ат. % Cr, характеризующегося высокой термической стабильностью, обсуждаются экспериментальные результаты исследования изменения микроструктуры тонких металлических пленок, полученных методом ионно-ассистированного осаждения (ОПАСИ), в зависимости от условий формирования покрытий.

Ключевые слова:
публикации ученых, микроструктура, тонкие пленки алюминия, хром, ионно-ассистированное осаждение

Тип: Статья