расширенный поиск
Дата публикации: 2012
Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:48:33Z
Микроэлектромеханические системы (МЭМС) представляют собой устройства размером до 1 мм, в которых электронная часть неразрывно объединена с механической. МЭМС представляют собой мехатронику на микроуровне.
Тип: Статья
