Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:48:35Z

Аннотация:

В работе рассматриваются особенности классификации дефектов, возникающих при производстве полупроводниковой пластины, а также классификации, основанной на учете размеров дефекта, влияния дефекта на сформированную топологию пластины, причине возникновения дефекта или на цифровых параметрах, необходимых для автоматизированных систем, которые отличают дефектные области от бездефектных.

Тип: Статья