Светодиодная ультрафиолетовая установка экспонирования с регулируемым временем экспозиции

Челяпин, А. Е.; Бегунов, П. С.; Трофимов, Ю. В.; Жавнерко, Г. К.; Cheliapin, A. E.; Begunov, P. S.; Trofimov, Y. V.; Zhavnerko, G. K.

Светодиодная ультрафиолетовая установка экспонирования с регулируемым временем экспозиции

Челяпин, А. Е., Бегунов, П. С., Трофимов, Ю. В., Жавнерко, Г. К., Cheliapin, A. E., Begunov, P. S., Trofimov, Y. V., Zhavnerko, G. K.

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:48:59Z

Аннотация:

Исследованы возможности улучшения качества топологического рисунка при экспонировании толстопленочных фоторезистов за счет равномерного облучения ультрафиолетовыми светодиодами. Осуществлено моделирование оптических характеристик светодиодного линейного ультрафиолетового модуля. Установлена возможность равномерного облучения фоторезиста большой площади при перемещении узкой равномерно светящейся области экспонирования. Исследованы распределения энергетической освещенности УФ светодиодного модуля установки экспонирования с регулируемым временем экспозиции. Приведены результаты экспериментального исследования разработанного светодиодного ультрафиолетового фотолитографического облучателя с регулируемым временем экспонирования.

Ключевые слова:
доклады БГУИР, УФ светодиоды, светодиодный облучатель, фотолитография, толстопленочный фоторезис

Тип: Статья

Светодиодная ультрафиолетовая установка экспонирования с регулируемым временем экспозиции

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация