Физическая модель формирования низкотемпературной плазмы комбинированного разряда

Козлова, С. А.

Физическая модель формирования низкотемпературной плазмы комбинированного разряда

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:49:10Z

Аннотация:

В работе рассмотрена физическая модель формирования низкотемпературной плазмы комбинированного разряда пониженного давления. Описаны особенности низкотемпературной плазмы комбинированного разряда пониженного давления.

Ключевые слова:
материалы конференций, плазма, низкотемпературная плазма

Тип: Статья