Алгоритмическое обеспечение для оптического контроля критических размеров полупроводниковых пластин СБИС

Дудкин, А. А.; Воронов, А. А.; Ганченко, В. В.; Инютин, А. В.; Марушко, Е. Е.

Алгоритмическое обеспечение для оптического контроля критических размеров полупроводниковых пластин СБИС

Дудкин, А. А., Воронов, А. А., Ганченко, В. В., Инютин, А. В., Марушко, Е. Е.

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:49:20Z

Аннотация:

Приводится описание алгоритмического обеспечения программного комплекса управления оборудованием контроля критических размеров полупроводниковых пластин СБИС на базе систем компьютерного зрения.

Ключевые слова:
материалы конференций, полупроводниковая пластина, СБИС, оптический контроль, машинное зрение, цифровое изображение

Тип: Статья

Алгоритмическое обеспечение для оптического контроля критических размеров полупроводниковых пластин СБИС

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация