расширенный поиск
Дата публикации: 2019
Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:49:26Z
Описание программно-управляемого импульсного источника питания плазмы, применяемого при проведении плазменной модификации твердотельных структур.
Тип: Статья