Спектральные исследования тонкопленочных слоев из SiOF

Юшкевич, С. А.

Спектральные исследования тонкопленочных слоев из SiOF

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:49:27Z

Аннотация:

Проведено исследование влияния состава рабочего газа и температуры подложки при нанесении пленок SiOF реактивным ионно-лучевым распылением кремниевой мишени на спектральные характеристики. Установлено, что добавка фреона практически не влияет на спектральные характеристики покрытий. Нагрев подложки способствовал сдвигу основной полосы поглощения в более высокочастотную область.

Ключевые слова:
материалы конференций, спектральные исследования, тонкие пленки, SiOF

Тип: Статья