Влияние режимов формирования и условий термообработки на фазовый состав и структуру кремний-углеродных покрытий, осаждаемых ионно-лучевым распылением

Руденков, А. С.; Рогачев, А. В.; Купо, А. Н.; Завадский, С. М.; Голосов, Д. А.; Лучников, П. А.

Влияние режимов формирования и условий термообработки на фазовый состав и структуру кремний-углеродных покрытий, осаждаемых ионно-лучевым распылением

Руденков, А. С., Рогачев, А. В., Купо, А. Н., Завадский, С. М., Голосов, Д. А., Лучников, П. А.

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:49:48Z

Аннотация:

Исследовано влияние режимов формирования и термообработки кремний-углеродных покрытий, осаждаемых путем ионнолучевого распыления карбида кремния, на их морфологию, химический и фазовый состав. Установлено, что увеличениемощности ионного-источника с 432 Вт до 738 Вт ведет к уменьшению фазового соотношения sp3/sp2 в 1,7 раза и увеличениюсоотношения Si-C/Si-O связей в 1,9 раза. Показано, что легирование углеродных покрытий карбидом кремния способствуетувеличению их термостойкости.

Ключевые слова:
публикации ученых, углеродные покрытия, атомно-силовая микроскопия, шероховатость, фазовый состав, кремний, ионно-лучевое распыление, КР-спектроскопия, РФЭС

Тип: Статья

Влияние режимов формирования и условий термообработки на фазовый состав и структуру кремний-углеродных покрытий, осаждаемых ионно-лучевым распылением

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация