Дата публикации: 2012

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T11:55:53Z

Аннотация:

Объектом исследования являются принципы зондовой электрометрии на основе невибрирующего зонда Кельвина, их теоретическое обоснование и способы практической реализации. Целью работы является разработка физических основ для создания новых методов и средств измерений и неразрушающего контроля параметров прецизионных поверхностей, включая поверхности с проводящими, полупроводниковыми и диэлектрическими свойствами.

Тип: Технический отчёт (Technical Report)