Базовые технологические процессы изготовления интегральных схем и микроэлектромеханических систем. Лаб. практикум : учебно - метод. пособие

Котов, Д. А.; Родионов, Ю. А.

Базовые технологические процессы изготовления интегральных схем и микроэлектромеханических систем. Лаб. практикум : учебно - метод. пособие

Дата публикации: 2011

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:51:39Z

Аннотация:

В пособии рассматриваются четыре технологических процесса: химическое травление; высокотемпературная диффузия; ионное легирование; микролитография. В конце пособия приводится перечень контрольных вопросов и литература.

Ключевые слова:
учебно-методические пособия, высокотемпературная диффузия, ионное легирование, микролитография, интегральные микросхемы, лабораторные работы

Тип: Book

Базовые технологические процессы изготовления интегральных схем и микроэлектромеханических систем. Лаб. практикум : учебно - метод. пособие

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация