Зондовый ионизационный электрометр для устройств визуализации потенциального рельефа прецизионных поверхностей
Дата публикации: 2012
Дата публикации в реестре: 2020-02-28T11:55:54Z
Аннотация:
Объектом исследования являлись принципы зондовой электрометрии на основе ионизационного метода электростатических измерений с предельно малыми уровнями ионизации зазора зонд-образец. Целью работы являлась разработка и реализация теоретических и технических принципов построения зондовых электрометров, основанных на ионизационном методе электростатических измерений, с предельно малыми уровнями ионизации зазора зонд-образец для создания новых методов зондовой микроскопии.