Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:52:05Z

Аннотация:

В процессе работы технологического оборудования возникает необходимость контролировать состояния системы путем проведения корреляционного анализа ее параметров. Задача по прогнозированию и увеличению воспроизводимости параметров технологических процессов непосредственно связана со стабильностью работы технологической системы в целом. На примере изучения стабильности оптического излучения плазмы СВЧ разряда предложено проводить параметрический анализ технологической системы с использованием технологий визуализации аналитических данных в виде тепловых карт. Показано, что такой метод за счет замены текстовой информации цветовыми индикаторами позволяет более динамично воспринимать большие массивы данных и проводить корреляционный анализ при изучении влияния внешних и внутренних параметров технологической системы на качество ее функционирования.

Тип: Статья