Методика расчета магнитной ловушки при проектировании магнетронного распылительного устройства

Бездников, М. С.; Шекелевский, В. В.

Методика расчета магнитной ловушки при проектировании магнетронного распылительного устройства

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:52:41Z

Аннотация:

В данной работе представлена методика моделирования магнитного поля при разработке и предварительной оценке характеристик магнетронного распылительного устройства.

Ключевые слова:
материалы конференций, магнетронные распылительные системы, магнитные ловушки

Тип: Статья

Методика расчета магнитной ловушки при проектировании магнетронного распылительного устройства

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация