Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:52:47Z

Аннотация:

В данной работе представлены результаты исследования теплопроводности для тонких пленок SiGe с ориентацей <110>, различными толщинами слоев и внутренних границ раздела. Установлены морфологии тонких плёнок с минимальными значениями теплопроводности, а также выявлено влияние толщины слоев и переходных границ на теплопроводность.

Тип: Статья