Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Свойства пленок нитрида кремния, полученных методом химического осаждения из газовой фазы с применением плазмы

Николаенко, С. П., Леонович, Н. В.

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:52:52Z

Аннотация:

Описаны свойства, применение и способ получения пленок нитрида кремния методом плазмохимического осаждения из газовой фазы.

Ключевые слова:
материалы конференций, плазмохимическое осаждение, газовые среды, нитрид кремния

Тип: Статья

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core