Метод расчета профиля зоны эрозии мишени магнетронной распылительной системы

Шекелевский, В. В.; Бездников, М. С.

Метод расчета профиля зоны эрозии мишени магнетронной распылительной системы

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:52:56Z

Аннотация:

В работе представлена методика определения профиля зоны эрозии мишени исходя из расчетов распределения скоростей электронов в магнитной ловушке методом конечных элементов.

Ключевые слова:
материалы конференций, зоны эрозии, магнетронные распылительные системы, метод конечных элементов

Тип: Статья

Метод расчета профиля зоны эрозии мишени магнетронной распылительной системы

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация