В представленной работе проведена оценка эффективности алгоритмов и программных средств сегментации, обеспечивающих выделение областей изображений атомно-силовой микроскопии, соответствующих элементам поверхностей неорганических материалов. Также разработаны: алгоритм параметризации и разбиения топографического пространства на симплексы, учитывающий особенности изображений атомно-силовой микроскопии, обеспечивающий описание материалов; алгоритм фильтрации АСМ-изображений на основе форм-факторов сегментов; алгоритм высокоточной совмещения и сшивки цифровых изображений атомно-силовой микроскопии неорганических материалов с использованием геометрических параметров топографических элементов поверхностей.