Разработка конструкции кварцевого датчика  и системы перемещения

Аюпов, В. А.; Шамшуров, П. Ю.

Разработка конструкции кварцевого датчика и системы перемещения

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:54:14Z

Аннотация:

Для регистрации скорости нанесения при ионно-лучевом и ионно-плазменном распылении был разработан кварцевый датчик. Данный датчик предназначен для работы в системах кварцевого контроля толщины и скорости роста пленок в технологическом оборудовании вакуумного ионно-плазменного нанесения слоев и при проведении научных исследований.

Ключевые слова:
материалы конференций, кварцевый датчик, система перемещения

Тип: Статья