Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:54:33Z

Аннотация:

Рассмотрен способ получения кремния полупроводниковой чистоты и выращивание монокристаллов, для изготовления полупроводниковых структур, имеющих высокие требования к чистоте используемых материалов.

Тип: Статья