Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:54:33Z

Аннотация:

Исследовано влияние температуры подложки на оптические характеристики пленок из диоксида гафния, синтезированных реактивным ионно-лучевым распылением металлической мишени. Установлено, что повышение температуры подложки до 573 К привело к ухудшению оптических характеристик. Произошло снижение пропускания и рост поглощения в диапазоне 450–800нм. Это может быть связано с десорбцией кислорода из пленки, образованием неоднородных областей в структуре покрытия.

Тип: Статья